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微小气体流量计

气体质量流量控制器

来源:上海瓷熙 发布时间:2018-09-07 15:51 作者:admin 浏览

     气体质量流量控制器卓越的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器,能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值,然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器(RTD)。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上,牢固且可靠。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。

 

技术参数技术参数
 
行业应用
 

     Dmass质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
 


 

     流量质量控制器出厂通常用氮气(N 2 )标定。如果要求用使用气体标定,需要在订货时与销售人员特别申明。 用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时,可以通过附录的转换系数进行换算。
 

    使用气体必须净化,切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器,如果流量计出口接有液体源瓶,应在流量计出口加装单向阀,防止液体回流损坏流量计。
 

    流量计通道采用的材料为:SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1(00Cr30Mo2), 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清晰、使用得当的条件下,可以用于控制一般的腐蚀性其他使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时,应在定货时声明。 使用特殊腐蚀性气体,所有密封材料都要作相应改变。

 

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